在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構(gòu)成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會生銹,也能提高測試探針是持久性和導(dǎo)電性。因此,電鍍工藝是生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的主要技術(shù),而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破。長...
為什么要射頻探測?由于器件小形化及高頻譜的應(yīng)用,電路尺寸不斷縮小,類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口,使得儀表本身無法與待測物進(jìn)行直接連接,如果人為的焊接射頻接口難免會引入不確定的誤差,所以射頻探針的使用完美的解決了這個問題。射頻探頭和校準(zhǔn)基板允許...
半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)壁壘高。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用光學(xué)、物理、化學(xué)等科學(xué)技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,從半導(dǎo)體單晶片到制成成品,須經(jīng)...
測試站包含自動硅光芯片耦合測試系統(tǒng)客戶端程序,其程序流程如下:首先向自動耦合臺發(fā)送耦合請求信息,并且信息包括待耦合芯片的通道號,然后根據(jù)自動耦合臺返回的相應(yīng)反饋信息進(jìn)入自動耦合等待掛起,直到收到自動耦合臺的耦合結(jié)束信息后向服務(wù)器發(fā)送測試請求信息,以進(jìn)行光芯片自...
光學(xué)平臺的隔振性能取決于臺面本身和支架的隔振性能,總體上說,光學(xué)平臺的隔振,通過三個方面來實(shí)現(xiàn):隔振支架:通常來說,氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架,部分性能優(yōu)異的隔振支架可以將外界振動(常見10~200Hz)減少一至兩個數(shù)量級臺面物理性能:要求臺面有一定...
我們對單模光纖間的相互耦合、多模光纖出射光場的光束及光強(qiáng)做了基本的了解及分析,為后面的多-單模光纖耦合系統(tǒng)的架構(gòu)打下基礎(chǔ)。其次,通過對耦合器件自聚焦透鏡及球透鏡的分析及研究,設(shè)計并研制出了多模光纖到單模光纖耦合系統(tǒng)的雛形。先使用自聚焦透鏡來匯聚從多模光纖出射光...
探針臺的作用是什么?探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進(jìn)行測試...
探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針...
半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配P...
手動探針臺規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微...
在光芯片領(lǐng)域,芯片耦合封裝問題是光子芯片實(shí)用化過程中的關(guān)鍵問題,芯片性能的測試也是至關(guān)重要的一步驟,現(xiàn)有的硅光芯片耦合測試系統(tǒng)是將光芯片的輸入輸出端光纖置于顯微鏡下靠人工手工移動微調(diào)架轉(zhuǎn)軸進(jìn)行調(diào)光,并依靠對輸出光的光功率進(jìn)行監(jiān)控,再反饋到微調(diào)架端進(jìn)行調(diào)試。芯片...
精細(xì)探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢:先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng)。以先進(jìn)工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試,以低沖擊的探針卡,避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力...
盡管半導(dǎo)體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進(jìn)口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國內(nèi)半導(dǎo)體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉...
盡管半導(dǎo)體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進(jìn)口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國內(nèi)半導(dǎo)體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉...
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒...
在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構(gòu)成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會生銹,也能提高測試探針是持久性和導(dǎo)電性。因此,電鍍工藝是生產(chǎn)半導(dǎo)體測試探針的主要技術(shù),而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破。長...
探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進(jìn)行測試。在晶圓級別的測試允...
對于當(dāng)今的多芯片(multi-diepackages)封裝,例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統(tǒng)級封裝(SiP)–開發(fā)用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關(guān)重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何...
近年來,半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點(diǎn)。2019年,中美摩擦、日韓半導(dǎo)體材料爭端對全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭格局也帶來了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導(dǎo)下、在資本與相關(guān)配套政策扶植下,中國大陸正在也必將成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擴(kuò)張寶地,未來幾年...
硅光芯片耦合測試系統(tǒng)應(yīng)用到硅光芯片,我們一起來了解硅光芯片的重要性。為什么未來需要硅光芯片,這是由于隨著5G時代的到來,芯片對傳輸速率和穩(wěn)定性要求更高,硅光芯片相比傳統(tǒng)硅芯的性能更好,在通信器件的高級市場上,硅光芯片的作用更加明顯。未來人們對流量的速度要求比較...
手動探針臺的使用方式:待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時,可先用Y軸旋...
探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備,在芯片的設(shè)計驗(yàn)證階段,主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設(shè)計驗(yàn)證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進(jìn)行,主要用到的設(shè)備為測試機(jī)和探針臺。...
探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,...
手動探針臺:普遍應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表,量測半導(dǎo)體器件IVCV脈沖/動態(tài)I...
平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺:平面電機(jī)由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器(自動測試設(shè)備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢茫瑫r真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個管芯(或管芯陣列)經(jīng)過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可...
探針臺主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格的芯片,并提供多個可調(diào)測試及探卡測試針臺座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,下面就由上海...
近來出現(xiàn)的一種選擇是使用同軸射頻電纜安裝探針,它結(jié)合了探針臺準(zhǔn)確性和可重復(fù)性的功能以及用探針可及性的功能。這些探針的邊緣類似于探針臺探針夾具——接地-信號-接地(GSG)或者接地-信號(GS)——一端帶有pogo-pin探針,另一端帶有典型的同軸連接器。這些新...
探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針...
光學(xué)平板采用好的鋁材制造。與鋼材相比,鋁材硬重比大,有一定的抗振性,溫度傳導(dǎo)性好,不良環(huán)境中溫度形變小,陽極氧化后美觀,耐磨,但是鋁材的剛性較差,無法承載較大的重量。因此一般用于承載較小的系統(tǒng)種。而且不宜懸空支撐。隨著眾多研究機(jī)構(gòu)對光學(xué)平臺質(zhì)量要求的不斷提高和...