激光干涉儀是一種高精度的測量工具,以下是對其的詳細(xì)介紹:一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。其工作原理基于干涉原理,即當(dāng)兩束波重疊并結(jié)合時,會產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中,激光束被分為兩路,一路經(jīng)固定反射鏡反射,另一路經(jīng)可動反射鏡反射,兩束光重新匯合時產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化被轉(zhuǎn)換為電信號,進而計算出位移量。雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。昆山本地雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家
分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn),**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,后用于在計量室中精密測長。它對環(huán)境要求較高,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,適宜在車間中使用。它應(yīng)用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標(biāo)測量機、光刻機和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機、高精度三坐標(biāo)測量機等的測量系統(tǒng)。三、應(yīng)用江蘇購買雙頻激光干涉儀五星服務(wù)接受信號為交流信號,前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器,不用直流放大,故沒有零點漂移等問題。
8、激光干涉儀的光源——激光,具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動儀器時,為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進行移動。3、儀器的光學(xué)零件在不用時,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,利用科學(xué)的方法進行清潔。
干涉儀是很***的一類實驗技術(shù)的總稱, 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息, 從而獲得實驗所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學(xué) (Thompson et al, 2001) [1], 光學(xué), 工程測量, 海洋學(xué), 地震學(xué), 波譜分析, 量子物理實驗, 遙感, 雷達等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用(Hariharan, 2007) [2]。具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化, 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動在一點處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動為它通常用于高精度的位移、振動、形變等物理量的測量。
邁克爾遜干涉儀的*****應(yīng)用即是它在邁克爾遜-莫雷實驗中對以太風(fēng)觀測中所得到的零結(jié)果,這朵十九世紀(jì)末經(jīng)典物理學(xué)天空中的烏云為狹義相對論的基本假設(shè)提供了實驗依據(jù)。除此之外,由于激光干涉儀能夠非常精確地測量干涉中的光程差,在當(dāng)今的引力波探測中邁克爾遜干涉儀以及其他種類的干涉儀都得到了相當(dāng)廣泛的應(yīng)用。激光干涉引力波天文臺(LIGO)等諸多地面激光干涉引力波探測器的基本原理就是通過邁克爾遜干涉儀來測量由引力波引起的激光的光程變化,而在計劃中的激光干涉空間天線(LISA)中,應(yīng)用邁克爾遜干涉儀原理的基本構(gòu)想也已經(jīng)被提出。邁克爾遜干涉儀還被應(yīng)用于尋找太陽系外行星的探測中,雖然在這種探測中馬赫-曾特干涉儀的應(yīng)用更加***。邁克爾遜干涉儀還在延遲干涉儀,即光學(xué)差分相移鍵控解調(diào)器(Optical DPSK)的制造中有所應(yīng)用,這種解調(diào)器可以在波分復(fù)用網(wǎng)絡(luò)中將相位調(diào)制轉(zhuǎn)換成振幅調(diào)制。它通過多次反射在兩個平面鏡之間形成干涉。昆山本地雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家
光程傳播:參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑,可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。昆山本地雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家
機床與加工設(shè)備:應(yīng)用于數(shù)控機床、磨床、鏜床、加工中心等設(shè)備的定位系統(tǒng)校準(zhǔn)及誤差修正,以提升加工精度。集成電路制造:支持半導(dǎo)體光刻技術(shù)的工件臺的精密定位。物理實驗:測量位移、速度、加速度等動力學(xué)參數(shù)。在線監(jiān)測控制:在大規(guī)模集成電路加工設(shè)備、精密機床中實現(xiàn)誤差的在線測量,以提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。檢測儀器校準(zhǔn):用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標(biāo)定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強環(huán)境適應(yīng)力、高實時動態(tài)測速以及廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,在精密制造、科研創(chuàng)新以及標(biāo)準(zhǔn)化檢測等方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。昆山本地雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家
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