按照干涉光來源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類， 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]； 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應用極為***，主要有如下幾方面：長度測量在雙光束干涉儀中，若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成，根據(jù)條紋的移動數(shù)可進行長度的精確比較或***測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。工業(yè)園區(qū)通用雙頻激光干涉儀選擇

激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以**的擴展；而且由于它的光束發(fā)散角小，能量集中，因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變?yōu)殡娪嵦枺⒂捎嫈?shù)器一個不漏的記錄下來，從而提高了測量速度和測量精度，比如說我國自行設(shè)計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀，可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢，精度達到±0.2μm，這就是激光干涉儀的成功例證。工業(yè)園區(qū)通用雙頻激光干涉儀選擇干涉儀是一種用于測量光波或其他波動現(xiàn)象的儀器，利用干涉原理來分析波的特性。

（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。（2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到比較好精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。

多普勒效應：當測量鏡移動時，測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf，與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|，該信號反映出位移引起的頻率變化。信號檢測：光電探測器將光信號轉(zhuǎn)為電信號，經(jīng)電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移。二、主要特點精度高：雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量，即使不做細分也可達到微米（μm）量級，細分后更可達到納米（nm）量級。應用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量，配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等。實時測量：可以實現(xiàn)實時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集，適合動態(tài)測量。

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器，廣泛應用于工程與技術(shù)科學領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現(xiàn)幾何量的檢測，具備抗干擾能力強、精度高等特點。主要應用場景包括數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準等，通過與不同光學組件結(jié)合，可檢測線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測量儀的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標準量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%抗干擾能力強：由于使用了兩種不同頻率的激光，干涉儀對環(huán)境噪聲和振動的抗干擾能力較強。太倉直銷雙頻激光干涉儀哪家強

廣泛應用：廣泛應用于材料科學、機械工程、光學測量、精密制造等領(lǐng)域。工業(yè)園區(qū)通用雙頻激光干涉儀選擇

(1)接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，不用直流放大，故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應，計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號，這對于遠距離測量是十分重要的，同時在近距離測量時又能簡化調(diào)整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上，以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。工業(yè)園區(qū)通用雙頻激光干涉儀選擇

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