潔凈室壓差失控的典型案例有哪些？

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廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司2025-08-21

某半導(dǎo)體車間因傳感器故障導(dǎo)致壓差紊亂，AI系統(tǒng)及時(shí)識(shí)別并調(diào)整，避免500公斤晶圓報(bào)廢

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