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POCl3 擴(kuò)散過(guò)程中產(chǎn)生的副產(chǎn)物如何處理?

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賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司2025-07-16

POCl3 擴(kuò)散過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生一些副產(chǎn)物,如氯化物等。對(duì)于這些副產(chǎn)物,首先要通過(guò)合理的尾氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。一般會(huì)采用化學(xué)吸收法,利用特定的化學(xué)試劑吸收尾氣中的有害成分,例如用堿性溶液吸收氯化氫等酸性氣體。吸收后的溶液需要進(jìn)行進(jìn)一步處理,達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排放。對(duì)于一些固體副產(chǎn)物,如反應(yīng)生成的殘?jiān)龋凑瘴kU(xiǎn)廢物的處理標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分類(lèi)收集和處理,通常會(huì)交由專(zhuān)業(yè)的危險(xiǎn)廢物處理機(jī)構(gòu)進(jìn)行安全處置,防止對(duì)環(huán)境造成污染。

賽瑞達(dá)智能電子裝備(無(wú)錫)有限公司
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簡(jiǎn)介:賽瑞達(dá)成立于2021年,專(zhuān)注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。公司位于無(wú)錫,致力于提供定制化解決方案。
簡(jiǎn)介: 賽瑞達(dá)成立于2021年,專(zhuān)注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。公司位于無(wú)錫,致力于提供定制化解決方案。
賽瑞達(dá)致力于成為半導(dǎo)體裝備的主導(dǎo)品牌。
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