產(chǎn)品中心
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擴散工序是賦予半導(dǎo)體材料特定電學(xué)性能的重要環(huán)節(jié)，立式爐在此發(fā)揮著關(guān)鍵作用。其內(nèi)部獨特的氣流循環(huán)系統(tǒng)，能使摻雜氣體均勻地擴散至晶圓內(nèi)部。在實際...
擴散工藝是通過高溫下雜質(zhì)原子在硅基體中的熱運動實現(xiàn)摻雜的關(guān)鍵技術(shù)，管式爐為該過程提供穩(wěn)定的溫度場（800℃-1200℃）和可控氣氛（氮氣、氧...
現(xiàn)代管式爐采用PLC與工業(yè)計算機結(jié)合的控制系統(tǒng)，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控和工藝配方管理。操作人員可通過圖形化界面（HMI）設(shè)置多段升溫曲線（如10段程序...
通過COMSOL等仿真工具可模擬管式爐內(nèi)的溫度場、氣體流場和化學(xué)反應(yīng)過程。例如，在LPCVD氮化硅工藝中，仿真顯示氣體入口處的湍流會導(dǎo)致邊緣...
賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司于2021年9月由原青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司重組，引入新的投資而改制設(shè)立的。公司位于無錫市錫山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，注冊資本6521.74萬元，是一家專注于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備和光伏電池設(shè)備的裝備制造企業(yè)。 公司主要產(chǎn)品有：半導(dǎo)體工藝設(shè)備、硅基集成電路和器件工藝設(shè)備、LED工藝設(shè)備、碳化硅、氮化鎵工藝設(shè)備、納米、磁性材料工藝設(shè)備、航空航天工藝設(shè)備等。并可根據(jù)用戶需求提供定制化的設(shè)備和工藝解決方案。公司秉承“助產(chǎn)業(yè)發(fā)展，創(chuàng)美好未來”的使命，專精于半導(dǎo)體智能裝備的研發(fā)制造，致力于成為半導(dǎo)體裝備的重要品牌?！百|(zhì)量、誠信、創(chuàng)新、服務(wù)、共贏”是我們的重要價值觀，我們將始終堅持“質(zhì)量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本，服務(wù)是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是賽瑞達(dá)永恒的追求”的經(jīng)營理念，持續(xù)經(jīng)營，為廣大客戶創(chuàng)造價值，和員工共同發(fā)展。
