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微針器件與生物傳感集成：公司采用干濕法混合刻蝕工藝制備的微針陣列，兼具納米級前列銳度（曲率半徑<100 nm）與微米級結構強度（抗彎剛度≥1 GPa），可穿透角質層無創(chuàng)提取組織間液或實現(xiàn)透皮給藥。在藥物遞送領域，載藥微針通過可降解高分子涂層（如PLGA）實現(xiàn)藥...

目前微流控創(chuàng)新的許多應用都被報道用于惡性tumour的檢測和cure。據(jù)報道，apparatus微流控芯片用于研究特定身體（如大腦，肺，心臟，腎臟，腸道和皮膚）的生理過程。值得注意的是，微流控創(chuàng)新在之前的COVID 19大流行形勢中發(fā)揮著重要作用，特別是在cu...

深硅刻蝕工藝在高深寬比結構中的技術突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優(yōu)化Bosch工藝參數(shù)，實現(xiàn)了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結構加工。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結合氟基氣體（如SF6）...

L-Series包括嚴格的機械平臺，集成了顯微鏡技術、微定位和計量學等方法?？蓱糜谛酒妶龅奈⑿碗娢挥嫞∕icroport）也作為其開發(fā)的副產(chǎn)品。L-Series致力于真正的解決微流控設備開發(fā)者所遇到的難題：構造芯片系統(tǒng)和提供實用程序，Sartor說：“若是...

腎臟組織微流控器官芯片（KoC）：傳統(tǒng)方法或常規(guī)方法的局限性，例如細胞功能和生理學的變化或不適當，使得腎單位的病理生理學研究不準確且容易出錯。相比之下，與微流控技術的集成已被證明可以產(chǎn)生更好和更精確的結果。KoC基本上是通過將腎小管細胞與微流控芯片技術相結合來...

美國Caliper Life Sciences公司Andrea Chow博士認為，微流控技術的成功取決于技術上的跨界聯(lián)合、技術和應用，這三個因素是相關的。他說：“為形成聯(lián)合，我們嘗試了所有可能達到一定復雜性水平的應用。從長遠且嚴密的角度來對其進行改進，我們發(fā)現(xiàn)...

對于微流控芯片，必須將材料從微通道中放入和取出，還要從納升級流量的流體中獲得可靠信號。一些研究者建議將微流控技術與“中等流體”結合，——以小型化的方式附加到中等尺寸的設備中，可以濃縮樣品，易于檢測。生物學家還受他們所使用微孔板的幾何限制。Caliper和其他的...

目前微流控創(chuàng)新的許多應用都被報道用于惡性tumour的檢測和cure。據(jù)報道，apparatus微流控芯片用于研究特定身體（如大腦，肺，心臟，腎臟，腸道和皮膚）的生理過程。值得注意的是，微流控創(chuàng)新在之前的COVID 19大流行形勢中發(fā)揮著重要作用，特別是在cu...

腸道微流控芯片（GoC）：GoC系統(tǒng)模仿人類腸道的生理學。它解釋了腸道的主要功能，即消化、營養(yǎng)物質的吸收、腸神經(jīng)的調節(jié)、體內廢物的排泄、以及伴隨微生物共生體的人體腸道的病理生理學。GoC模型主要用于精確復制具有所需微流控參數(shù)的腸道體內環(huán)境。Kim等人研究了當人...

MEMS制作工藝柔性電子出現(xiàn)的意義： 柔性電子技術有可能帶來一場電子技術進步，引起全世界的很多的關注并得到了迅速發(fā)展。美國《科學》雜志將有機電子技術進展列為2000年世界幾大科技成果之一，與人類基因組草圖、生物克隆技術等重大發(fā)現(xiàn)并列。美國科學家艾倫黑...

MEMS制作工藝-太赫茲特性： 1.相干性由于它是由相千電流驅動的電偶極子振蕩產(chǎn)生，或又相千的激光脈沖通過非線性光學頻率差頻產(chǎn)生，因此有很好的相干性。THz的相干測量技術能夠直接測量電場振幅和相位，從而方便提取檢測樣品的折射率，吸收系數(shù)等。 2...

MEMS傳感器的主要應用領域有哪些？ 消費電子產(chǎn)品在MEMSDrive出現(xiàn)之前，手機攝像頭主要由音圈馬達移動鏡頭組的方式實現(xiàn)防抖(簡稱鏡頭防抖技術)，受到很大的局限。而另一個在市場上較好的防抖技術：多軸防抖，則是利用移動圖像傳感器(ImageSens...

MEA柔性電極的MEMS制造工藝：公司開發(fā)的腦機接口用MEA（微電極陣列）柔性電極，采用聚酰亞胺或PDMS作為柔性基底，通過光刻、金屬蒸鍍與電化學沉積工藝，構建高密度“觸凸”式電極陣列。電極點直徑可縮至20微米，間距50微米，表面修飾PEDOT:PSS導電聚合...

通過MEMS技術制作的生物傳感器，圍繞細胞分選檢測、生物分子檢測、人工聽覺微系統(tǒng)等方向，突破了高通量細胞圖形化、片上細胞聚焦分選、耳蝸內聲電混合刺激、高時空分辨率相位差分檢測等一批具有自主知識產(chǎn)權的關鍵技術，取得了一批原創(chuàng)性成果，研制了具有世界很高水平的高通量...

SU8微流控模具加工技術與精度控制：SU8作為負性光刻膠，廣泛應用于6英寸以下硅片、石英片的單套或套刻微流控模具加工，可實現(xiàn)5-500μm高度的三維結構制造。加工流程包括：基板清洗→底涂處理→SU8涂膠（轉速500-5000rpm，控制厚度1-500μm）→前...

微針器件的干濕法刻蝕與集成傳感：基于MEMS干濕法混合刻蝕工藝，公司開發(fā)出多尺度微針器件。通過光刻膠模板與各向異性刻蝕，制備前列曲率半徑<100nm、高度500微米的中空微針陣列，可無創(chuàng)穿透表皮提取組織間液。結合微注塑工藝，在微針內部集成直徑10微米的流體通道...

PDMS金屬流道芯片的復合加工工藝：PDMS金屬流道芯片通過在柔性PDMS流道內集成金屬鍍層，實現(xiàn)流體控制與電信號檢測的一體化設計。加工流程包括：首先利用軟光刻技術在硅模上制備50-200μm寬度的流道結構，澆筑PDMS預聚體并固化成型；然后通過氧等離子體處理...

MEMS微納加工的產(chǎn)業(yè)化能力與技術儲備：公司在MEMS微納加工領域構建了完整的技術體系與產(chǎn)業(yè)化能力，涵蓋從設計仿真（使用COMSOL、Lumerical等軟件）到工藝開發(fā)（10+種主流加工工藝）、批量生產(chǎn)（萬級潔凈車間，月產(chǎn)能50,000片）的全鏈條服務。技術...

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料-PI： 柔性PI膜是一種由聚酰亞胺（PI）構成的薄膜材料，它是通過將均苯四甲酸二酐（PMDA）與二胺基二苯醚（ODA）在強極性溶劑中進行縮聚反應，然后流延成膜，然后經(jīng)過亞胺化處理得到的高分子絕緣材料。柔性PI膜擁有...

芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA產(chǎn)品 每個生物實驗室都用得起的單分子免疫檢測 從TNF-α數(shù)字ELISA測定的檢測限為~150aM（2.5fg/mL），相當于全血中的~600aM（10fg/mL）；市場上可用的ELISA對TNF-α的比較高靈敏度...

芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA，我們?yōu)槭裁茨茏龅剑慨a(chǎn)品主要原理同單分子陣列技術： 非常近，已經(jīng)描述了兩種數(shù)字蛋白質測量方法，這些方法能夠提高對單分子水平的靈敏度。一種方法依賴于在固相上形成免疫三明治復合物，然后化學解離并通過激光計數(shù)每個分子。第二種方...

MEMS制作工藝-太赫茲傳感器： 超材料(Metamaterial)是一種由周期性亞波長金屬諧振的單元陣列組成的人工復合型電磁材料,通過合理的設計單元結構可實現(xiàn)特殊的電磁特性,主要包括隱身、完美吸和負折射等特性。目前,隨著太赫茲技術的快速發(fā)展,太赫茲...

硅基金屬電極加工工藝與生物相容性優(yōu)化：在硅片、LN（鈮酸鋰）、LT（鉭酸鋰）、藍寶石、石英等基板上加工金屬電極，需兼顧電學性能與生物相容性。公司采用濺射沉積與剝離工藝，首先在基板表面沉積50-200nm的鈦/金種子層，增強金屬與基板的附著力；然后旋涂光刻膠并曝...

神經(jīng)電子芯片的MEMS微納加工技術與臨床應用：神經(jīng)電子芯片作為植入式醫(yī)療設備的**組件，對微型化、生物相容性及功能集成度提出了極高要求。公司依托0.35/0.18μm高壓工藝，成功開發(fā)多通道神經(jīng)電刺激SoC芯片，可實現(xiàn)無線充電與通訊功能，將控制信號轉化為精細電...

射頻MEMS器件分為MEMS濾波器、MEMS開關、MEMS諧振器等。射頻前端模組主要由濾波器、低噪聲放大器、功率放大器、射頻開關等器件組成，其中濾波器是射頻前端中重要的分立器件，濾波器的工藝就是MEMS，在射頻前端模組中占比超過50%，主要由村田制作所等國外公...

三維微納結構的跨尺度加工技術：跨尺度加工技術實現(xiàn)了從納米級到毫米級結構的一體化制造，滿足復雜微流控系統(tǒng)對多尺度功能單元的需求。公司結合電子束光刻（EBL，分辨率10nm）、紫外光刻（分辨率1μm）與機械加工（精度10μm），在單一基板上構建跨3個數(shù)量級的微結構...

三維微納結構的跨尺度加工技術：跨尺度加工技術實現(xiàn)了從納米級到毫米級結構的一體化制造，滿足復雜微流控系統(tǒng)對多尺度功能單元的需求。公司結合電子束光刻（EBL，分辨率10nm）、紫外光刻（分辨率1μm）與機械加工（精度10μm），在單一基板上構建跨3個數(shù)量級的微結構...

加速度傳感器是很早廣泛應用的MEMS之一。MEMS，作為一個機械結構為主的技術，可以通過設計使一個部件(圖中橙色部件)相對底座substrate產(chǎn)生位移（這也是絕大部分MEMS的工作原理），這個部件稱為質量塊（proofmass）。質量塊通過錨anchor，鉸...

MEMS技術的主要分類：生物MEMS技術是用MEMS技術制造的化學/生物微型分析和檢測芯片或儀器，統(tǒng)稱為Bio-sensor技術，是一類在襯底上制造出的微型驅動泵、微控制閥、通道網(wǎng)絡、樣品處理器、混合池、計量、增擴器、反應器、分離器以及檢測器等元器件并集成為多...

主要由傳感器、作動器（執(zhí)行器）和微能源三大部分組成，但現(xiàn)在其主要都是傳感器比較多。 特點：1.和半導體電路相同，使用刻蝕，光刻等微納米MEMS制造工藝，不需要組裝，調整；2.進一步的將機械可動部，電子線路，傳感器等集成到一片硅板上；3.它很少占用地方...