光電行業(yè)的大力發(fā)展,致使剝離液被國內外研究人員所關注及研究,雖然在**網及技術網上對剝離液的闡述較少,但當前國內與國外均在剝離液廢液如何利用及處置方面有了一定的成果,。美國專利US7273560公布了包含單乙醇胺與二乙二醇單丁醚組合的光刻膠剝離液廢液中含有、7...
隨著電子元器件制作要求的提高,相關行業(yè)應用對濕電子化學品純度的要求也不斷提高。為了適應電子信息產業(yè)微處理工藝技術水平不斷提高的趨勢,并規(guī)范世界超凈高純試劑的標準,國際半導體設備與材料組織(SEMI)將濕電子化學品按金屬雜質、控制粒徑、顆粒個數和應用范圍等指標制...
單片清洗工藝避免了不同硅片之間相互污染,降低了產品缺陷,提高了產品良率??蛇x擇的,清洗液采用氧化硫磺混合物溶液和過氧化氨混合物溶液。可選的,進一步改進,清洗液采用h2so4:h2o2配比范圍為6:1~4:1且溫度范圍為110℃~140℃的過氧化硫磺混合物溶液;...
所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過皮帶連接,所述收卷驅動電機與所述膠面收卷輥通過導線連接。進一步的,所述電加熱箱與所述干燥度感應器通過導線連接,所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過導線連接。進一步的,所述主支撐架由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。進一步的,所述干燥度...
IC去除剝離液MSDS1.產品屬性產品形式:混合溶液產品名稱:ANS-908產品功能描述:用于COG重工,使IC與玻璃無損傷分離2.組成成份化學名稱CASNo含量%(v)1-METHYL-2-PYRROLIDINONE872-50-445~90N,N-DIME...
所述功能切換口外部并聯(lián)有高純水輸入管線和沉淀劑輸入管線,所述二級過濾罐的底部設有廢液出口,所述一級過濾罐和二級過濾罐內部均懸設有攔截固體成分的過濾筒。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,所述一級過濾罐和二級過濾罐的結構相同,均由外殼、懸設于外殼內的過濾筒、扣裝于過濾...
所述功能切換口外部并聯(lián)有高純水輸入管線和沉淀劑輸入管線,所述二級過濾罐的底部設有廢液出口,所述一級過濾罐和二級過濾罐內部均懸設有攔截固體成分的過濾筒。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,所述一級過濾罐和二級過濾罐的結構相同,均由外殼、懸設于外殼內的過濾筒、扣裝于過濾...
形成帶有沉淀物的固液混合物,打開一級過濾罐進料管路上的電磁閥18,固液混合物進入一級過濾罐16的過濾筒中,先由一級過濾罐16的過濾筒過濾得到一級線性酚醛樹脂,濾液由提升泵6送往攪拌釜的循環(huán)料口7,往復3次數后,一級線性酚醛樹脂回收完成,關閉一級過濾罐進料管路上...
剝離液是用來干嘛的?簡單了解了剝離液的朋友圈,接下來,我們就展開講講剝離液是做什么的吧。剝離液通常用在蝕刻工藝完成之后,用于去除光刻膠和殘留物質,同時防止對下層的襯底層造成損壞??梢哉f我們現(xiàn)在正在看的手機、電腦屏幕都用到剝離液。據調研報告顯示,在LCD面板制造...
從而可以在閥門開關60關閉后取下被阻塞的過濾器30進行清理并不會導致之后的下一級腔室102的剝離進程無法繼續(xù)。其中,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級向玻璃基板分別提供剝離液;與多個腔室10分別對應連接的多個存儲箱20,各級腔室10分別通過管...
剝離液是一種通用濕電子化學品,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質,同時防止對襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽能電池等生產濕法工藝制造的關鍵性電子化工材料,下游應用領域,但整體應用需求較低,因此市場規(guī)模偏小。剝離液...
高世代面板)表面上,或透入其表面,而把固體物料潤濕,剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。因此,本申請中的高世代面板銅制程光刻膠剝離液由酰胺、醇醚、環(huán)胺與鏈胺、緩蝕劑、潤濕劑組成。其中,酰胺可以為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的...
光刻膠殘留大,殘留分布不均勻,并且產生邊緣聚集殘留。為了能夠進一步地表示配方一和配方二之間的光刻膠殘留量對比,圖2中將多張單張檢測圖進行疊加,可以更加清楚地看出兩者之間的區(qū)別,能夠明顯地看出使用配方一的剝離液,高世代面板邊緣光刻膠殘留量大。下面列舉更多剝離液組...
IC去除剝離液MSDS1.產品屬性產品形式:混合溶液產品名稱:ANS-908產品功能描述:用于COG重工,使IC與玻璃無損傷分離2.組成成份化學名稱CASNo含量%(v)1-METHYL-2-PYRROLIDINONE872-50-445~90N,N-DIME...
本發(fā)明涉及剝離液技術領域:,更具體的說是涉及一種光刻膠剝離液再生方法。背景技術::電子行業(yè)飛速發(fā)展,光刻膠應用也越來越***。在半導體元器件制造過程中,經過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才...
圖3是一現(xiàn)有技術光刻膠剝離去除示意圖二,其離子注入步驟。圖4是一現(xiàn)有技術光刻膠剝離去除示意圖三,其顯示離子注入后光刻膠形成了主要光刻膠層和第二光刻膠層。圖5是一現(xiàn)有技術光刻膠剝離去除示意圖四,其顯示光刻膠膨脹。圖6是一現(xiàn)有技術光刻膠剝離去除示意圖五,其顯示光刻...
本申請涉及半導體工藝技術領域,具體涉及一種剝離液機臺及其工作方法。背景技術:剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同時,沉積在光阻上...
砷化鎵也有容易被腐蝕的特點,比如堿性的氨水、酸性的鹽酸、硫酸、硝酸等。去膠,也成為光刻膠的剝離。即完成光刻鍍膜等處理之后,需要去除光刻膠之后進行下一步。有時直接采用+異丙醇的方式就可以去除。但是對于等離子體處理過的光刻膠,一般就比較難去除干凈。有的人把加熱到6...
濕電子化學品位于電子信息產業(yè)偏中上游的材料領域。濕電子化學品上游是基礎化工產品,下游是電子信息產業(yè)(信息通訊、消費電子、家用電器、汽車電子、LED、平板顯示、太陽能電池、**等領域)。濕電子化學品的生產工藝主要采用物理的提純技術及混配技術,將工業(yè)級的化工原料提...
所述功能切換口外部并聯(lián)有高純水輸入管線和沉淀劑輸入管線,所述二級過濾罐的底部設有廢液出口,所述一級過濾罐和二級過濾罐內部均懸設有攔截固體成分的過濾筒。上述的光刻膠廢剝離液回收裝置,所述一級過濾罐和二級過濾罐的結構相同,均由外殼、懸設于外殼內的過濾筒、扣裝于過濾...
光電行業(yè)的大力發(fā)展,致使剝離液被國內外研究人員所關注及研究,雖然在**網及技術網上對剝離液的闡述較少,但當前國內與國外均在剝離液廢液如何利用及處置方面有了一定的成果,。美國專利US7273560公布了包含單乙醇胺與二乙二醇單丁醚組合的光刻膠剝離液廢液中含有、7...
使用當前級腔室相應的過濾器過濾來自當前級腔室的剝離液并將過濾后的剝離液傳輸至下一級腔室;若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關閉連接被阻塞的所述過濾器的管道上的閥門開關;取出被阻塞的所述過濾器。在一些實施例中,所述若所述過濾器被所述薄膜碎屑阻塞,則關閉連接被阻塞...
從而可以在閥門開關60關閉后取下被阻塞的過濾器30進行清理并不會導致之后的下一級腔室102的剝離進程無法繼續(xù)。其中,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級向玻璃基板分別提供剝離液;與多個腔室10分別對應連接的多個存儲箱20,各級腔室10分別通過管...
從而可以在閥門開關60關閉后取下被阻塞的過濾器30進行清理并不會導致之后的下一級腔室102的剝離進程無法繼續(xù)。其中,腔室10用于按照處于剝離制程的玻璃基板的傳送方向逐級向玻璃基板分別提供剝離液;與多個腔室10分別對應連接的多個存儲箱20,各級腔室10分別通過管...
根據新思界產業(yè)研究中心發(fā)布的《2020-2024年中國剝離液行業(yè)市場供需現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢預測報告》顯示,剝離液屬于濕電子化學品的重要品類,近幾年受新能源、汽車電子等產業(yè)的快速發(fā)展,我國濕電子化學品市場規(guī)模持續(xù)擴增,2019年我國濕電子化學品市場規(guī)模達到100億元...
本申請涉及半導體工藝技術領域,具體涉及一種剝離液機臺及其工作方法。背景技術:剝離(lift-off)工藝通常用于薄膜晶體管(thinfilmtransistor)制程中的光罩縮減,lift-off先形成光阻并圖案化,再在光阻上成膜,移除光阻的同時,沉積在光阻上...
IC去除剝離液MSDS1.產品屬性產品形式:混合溶液產品名稱:ANS-908產品功能描述:用于COG重工,使IC與玻璃無損傷分離2.組成成份化學名稱CASNo含量%(v)1-METHYL-2-PYRROLIDINONE872-50-445~90N,N-DIME...
所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,所述道包括多個子管道,每一所述子管道與一子過濾器連通,且所述多個子管道與當前級腔室對應的存儲箱連通。在一些實施例中,所述第二管道包括公共子管道及多個第二子管道,每一所述第二子管道與一子過濾器連通,每一所述第二子管道與所述公...
可選擇的,旋涂光刻膠厚度范圍為1000?!?0000埃。s3,執(zhí)行離子注入:可選擇的,離子注入劑量范圍為1×1013cm-2~1×1016cm-2。s4,采用氮氫混合氣體執(zhí)行等離子刻蝕,對光刻膠進行干法剝離;如背景技術中所述,經過高劑量或大分子量的源種注入后,...
光刻膠又稱光致抗蝕劑,主要由感光樹脂、增感劑和溶劑三種成分組成。感光樹脂經光照后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應,使得這種材料的物理性能,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經曝光、顯影、刻蝕、擴散、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微細圖形從掩模版轉移至加工的...