分子泵軸承選型需綜合考量轉(zhuǎn)速、載荷、真空度及環(huán)境介質(zhì)四大要素。以 100L/s 抽速的分子泵為例,其轉(zhuǎn)子重量約 5kg,高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力可達 5000N,需選用接觸角為 30° 的角接觸球軸承,通過背對背安裝方式承受雙向軸向載荷。新巴頓提供的選型工具可根據(jù)用戶參數(shù)自動計算:當(dāng)轉(zhuǎn)速超過 12 萬轉(zhuǎn) / 分鐘時,推薦采用 7000 系列角接觸軸承,其 Dm?N 值(軸承節(jié)圓直徑 × 轉(zhuǎn)速)可達 1.2×10?mm?r/min,同時需搭配陶瓷球以降低離心力引起的形變。對于含腐蝕性氣體的真空環(huán)境,316L 不銹鋼材質(zhì)的軸承配合 PTFE 保持架,可耐受氯氣、氟化氫等介質(zhì)的侵蝕。集成傳感器模塊,新巴頓分子泵軸承助力機械智能化監(jiān)測與維護。南京C36STAY40分子泵軸承
新巴頓為機械行業(yè)用戶提供定制化分子泵軸承解決方案。根據(jù)特殊工況(如高真空 10??Pa、強輻射環(huán)境),可設(shè)計全陶瓷軸承(Si?N?球 + ZrO?套圈),其出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于核聚變實驗設(shè)備。對于超高速場景(轉(zhuǎn)速>100000rpm),采用空氣靜壓軸承設(shè)計,通過高壓空氣(壓力 0.4-0.6MPa)形成氣膜支撐,摩擦系數(shù)低至 0.0005,滿足機械行業(yè)的極端工況需求。定制化過程中,工程師會通過有限元分析(FEA)優(yōu)化軸承結(jié)構(gòu),如在大型分子泵中增加加強筋設(shè)計,使軸承座的固有頻率避開運轉(zhuǎn)頻率 ±20%,避免機械共振。徐匯區(qū)巴頓C105HRRY14分子泵軸承跨行業(yè)技術(shù)融合,新巴頓分子泵軸承帶來機械創(chuàng)新應(yīng)用方案。
新巴頓分子泵軸承在機械行業(yè)多個領(lǐng)域積累了成功應(yīng)用案例。在某半導(dǎo)體企業(yè)的刻蝕設(shè)備中,采用 7210AC 角接觸軸承組合,配合油氣潤滑系統(tǒng),實現(xiàn)轉(zhuǎn)速 35000rpm 下連續(xù)運行 18 個月無故障,真空度穩(wěn)定在 5×10??Pa;在光伏鍍膜設(shè)備中,全陶瓷軸承(Si?N?)抵抗 Al 蒸汽沉積導(dǎo)致的污染,壽命較鋼軸承提升 4 倍。通過失效分析(如斷口電鏡觀察、材料成分檢測),該公司發(fā)現(xiàn)機械故障多源于安裝偏心(偏差>0.05mm)或潤滑不足,因此在售后培訓(xùn)中強調(diào)安裝規(guī)范,使客戶現(xiàn)場的軸承早期失效概率從 12% 降至 3% 以下,為機械用戶創(chuàng)造實際效益。
隨著半導(dǎo)體制程向 3nm 以下演進,分子泵軸承正朝超高速、低功耗方向發(fā)展。新巴頓研發(fā)的 SiC 陶瓷軸承,其熱導(dǎo)率(400W/m?K)是氧化鋯陶瓷的 10 倍,可將軸承溫升控制在 15℃以內(nèi),適配 20 萬轉(zhuǎn) / 分鐘的超高速分子泵。同時,基于仿生學(xué)的表面織構(gòu)技術(shù),在滾道表面加工微米級凹坑儲油槽,使?jié)櫥侍嵘?30%,有望實現(xiàn)全壽命免維護。此外,公司正在開發(fā)的智能軸承,內(nèi)置微型傳感器,可實時傳輸溫度、振動、載荷數(shù)據(jù),通過邊緣計算實現(xiàn)故障預(yù)警,推動分子泵系統(tǒng)向預(yù)測性維護升級。這些技術(shù)創(chuàng)新將助力我國真空裝備在半導(dǎo)體、新能源等領(lǐng)域的國產(chǎn)化突破。長壽命設(shè)計的新巴頓分子泵軸承,減少停機,提升生產(chǎn)效率。
新巴頓將其他行業(yè)的先進技術(shù)遷移至分子泵軸承,為機械領(lǐng)域帶來創(chuàng)新應(yīng)用。借鑒航空發(fā)動機軸承的涂層技術(shù),在分子泵軸承表面沉積 TiAlN 涂層(硬度 3000HV),耐磨性提升 3 倍,適用于含硬質(zhì)顆粒的機械工況(如礦山真空除塵設(shè)備);引入醫(yī)療器械的無菌加工理念,在食品機械的真空軸承中采用電解拋光表面(粗糙度 Ra≤0.2μm),配合 FDA 認證潤滑脂,滿足食品接觸安全要求。這種跨行業(yè)技術(shù)融合使分子泵軸承突破傳統(tǒng)應(yīng)用邊界,在機械行業(yè)的多元化場景中實現(xiàn)性能躍升。多道密封結(jié)構(gòu),新巴頓分子泵軸承防泄漏,保障機械真空系統(tǒng)穩(wěn)定。巴頓VAC607AD012分子泵軸承中國代理商
巴頓分子泵軸承:新能源領(lǐng)域的伙伴。南京C36STAY40分子泵軸承
新巴頓分子泵軸承的清潔度達到 ISO 4406:1999 標準的 12/9 級,滿足高真空機械的嚴苛要求。生產(chǎn)過程中采用超聲波清洗(溶劑為異丙醇),配合真空干燥(壓力≤10?3Pa,溫度 60℃),去除表面殘留雜質(zhì)(顆粒尺寸>5μm 的污染物≤10 個 / 100cm2)。在半導(dǎo)體離子注入設(shè)備中,這種高清潔度軸承可避免微粒污染晶圓,使工藝良率提升至 99.5% 以上。軸承裝配在潔凈室(Class 100)中進行,操作人員穿戴無塵服,工具經(jīng)過紫外消毒,確保分子泵軸承在機械安裝后,不會成為真空系統(tǒng)的污染源,維持 10??Pa 級別的高真空環(huán)境。南京C36STAY40分子泵軸承