新巴頓分子泵軸承的精度達(dá)到 P4 級(jí)(ISO 標(biāo)準(zhǔn)),滿(mǎn)足機(jī)械行業(yè)精密設(shè)備的裝配要求。其滾道圓度誤差≤1μm,表面粗糙度 Ra≤0.1μm,這種高精度加工確保軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的低噪音特性(噪音值≤65dB)。以 CT 機(jī)的真空系統(tǒng)為例,軸承的高精度運(yùn)轉(zhuǎn)可避免因振動(dòng)導(dǎo)致的影像模糊,配合電機(jī)的伺服控制,實(shí)現(xiàn)分子泵轉(zhuǎn)速波動(dòng) ±0.5% 的精確調(diào)節(jié)。在機(jī)械加工過(guò)程中,采用超精密磨削工藝,滾道與滾子的接觸角偏差控制在 ±2′以?xún)?nèi),使軸承在承受徑向載荷(如機(jī)械安裝偏心引起的附加載荷)時(shí),各滾動(dòng)體受力均勻性提升 90% 以上,延長(zhǎng)機(jī)械部件的整體壽命??刹鹦妒浇Y(jié)構(gòu),新巴頓分子泵軸承方便機(jī)械維修,提升維護(hù)效率。巴頓VAC625AC001分子泵軸承中國(guó)代理商
CT 機(jī)用分子泵軸承的防輻射設(shè):計(jì)醫(yī)療 CT 設(shè)備中的分子泵軸承需耐受 X 射線輻射(劑量率≤10mGy/h),新巴頓選用 316L 不銹鋼(含碳量≤0.03%)制造套圈,其 γ 射線吸收系數(shù)為 0.06cm?1,可有效減少輻射損傷。保持架采用輻射穩(wěn)定型 PEEK 材料(添加 5% 碳纖維),在 10?Gy 輻射劑量下仍保持力學(xué)性能穩(wěn)定。潤(rùn)滑方面使用硅基潤(rùn)滑脂(輻射分解率<1%),某 CT 設(shè)備采用該軸承后,經(jīng)過(guò) 5 年連續(xù)運(yùn)行(累計(jì)輻射劑量 5×103Gy),軸承性能未見(jiàn)明顯衰減,滿(mǎn)足醫(yī)療設(shè)備的長(zhǎng)壽命要求。C1905HX205Y114DF分子泵軸承供應(yīng)巴頓分子泵軸承:創(chuàng)新技術(shù),分子泵軸承行業(yè)發(fā)展。
新巴頓分子泵軸承的材料選擇聚焦機(jī)械行業(yè)的耐用性需求,采用強(qiáng)度更高的軸承鋼(如 GCr15SiMn)或陶瓷材料(Si?N?)。軸承鋼材質(zhì)經(jīng)淬火回火處理,硬度可達(dá) HRC60-65,有效抵抗機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)中的交變載荷;陶瓷軸承則具備耐高溫、抗腐蝕特性,適用于半導(dǎo)體行業(yè)含腐蝕性氣體的真空環(huán)境。以鍍膜機(jī)為例,當(dāng)蒸發(fā)源溫度達(dá) 500℃以上時(shí),陶瓷軸承的熱穩(wěn)定性可避免因溫升導(dǎo)致的尺寸變形,維持泵體轉(zhuǎn)速在 30000rpm 以上的穩(wěn)定運(yùn)行。材料表面的涂層處理(如 DLC 類(lèi)金剛石涂層)進(jìn)一步降低摩擦系數(shù)至 0.001-0.003,使機(jī)械能耗減少 15%-20%,契合機(jī)械行業(yè)節(jié)能降耗的發(fā)展趨勢(shì)。
新巴頓分子泵軸承采用先進(jìn)的復(fù)合材質(zhì)體系,主要部件陶瓷球選用氧化鋯(ZrO?)材料,其硬度高達(dá) HRA85,抗彎強(qiáng)度達(dá)到 230GPa,相比傳統(tǒng)軸承鋼材質(zhì),耐磨性提升了 3 倍以上。不銹鋼套圈采用真空除氣處理的 AISI 440C 不銹鋼,在 10??Pa 的超高真空環(huán)境下,水汽釋放率只為 5×10??Pa?m3/s,極大降低了出氣對(duì)真空系統(tǒng)的影響。某半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備在采用新巴頓陶瓷軸承后,運(yùn)行壽命從原本的 8 個(gè)月延長(zhǎng)至 28 個(gè)月,設(shè)備因軸承故障導(dǎo)致的停機(jī)時(shí)間減少了 75%,明顯提升了生產(chǎn)效率,同時(shí)因材料出氣率低,芯片的良品率提高了 4% ,有效降低了生產(chǎn)成本。雙向推力軸承定位,新巴頓分子泵軸承確保機(jī)械軸向精度達(dá) ±5μm。
分子泵軸承需符合多領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)要求。在半導(dǎo)體行業(yè),需通過(guò) SEMI S2/S8 認(rèn)證,確保材料不釋放有害氣體,新巴頓的軸承經(jīng)第三方檢測(cè),其總揮發(fā)性有機(jī)物(TVOC)<50ppb;醫(yī)療 CT 設(shè)備用軸承則需符合 ISO 13485 標(biāo)準(zhǔn),公司采用的電解拋光工藝使套圈表面粗糙度 Ra≤0.05μm,滿(mǎn)足滅菌要求。對(duì)于航空航天領(lǐng)域,軸承需通過(guò) MIL-PRF-32369 認(rèn)證,其低 outgassing 特性(水汽釋放率<1×10??Pa?m3/s)由氦質(zhì)譜檢漏儀嚴(yán)格檢測(cè)。目前,公司產(chǎn)品已獲得 ISO 9001:2015 認(rèn)證,并通過(guò)多家國(guó)際設(shè)備廠商的工廠審核(如應(yīng)用材料、Lam Research)。巴頓分子泵軸承智能監(jiān)測(cè)技術(shù),預(yù)防潛在故障。C1908HX205Y26DF分子泵軸承銷(xiāo)售
巴頓分子泵軸承專(zhuān)業(yè)定制服務(wù),滿(mǎn)足個(gè)性化需求。巴頓VAC625AC001分子泵軸承中國(guó)代理商
軸承保持架的輕量化與強(qiáng)度平衡:分子泵軸承的保持架需在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)兼具輕量化與抗離心力性能。新巴頓采用碳纖維增強(qiáng) PEEK 材料(密度 1.3g/cm3)制造保持架,其抗拉強(qiáng)度達(dá) 130MPa,較傳統(tǒng)黃銅保持架減重 60%,同時(shí)離心力引起的形變≤0.05mm。保持架窗口采用橢圓孔設(shè)計(jì)(長(zhǎng)軸 2.5mm,短軸 2mm),優(yōu)化滾珠引導(dǎo)軌跡,降低高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)噪聲(≤65dB)。某半導(dǎo)體刻蝕機(jī)用分子泵更換該保持架后,軸承運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲從 78dB 降至 62dB,符合 ISO 11683 工業(yè)噪聲控制標(biāo)準(zhǔn)。巴頓VAC625AC001分子泵軸承中國(guó)代理商