半導(dǎo)體光刻車間對(duì)AMC(氣態(tài)分子污染物)有什么特殊要求？

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廣東楚嶸建設(shè)工程有限公司2025-07-26

控制標(biāo)準(zhǔn)：污染物類型限值酸類(如HF) ≤0.1 ppb 堿類(NH?) ≤1 ppb 有機(jī)物 ≤2 ppb 技術(shù)方案：化學(xué)過(guò)濾器(ULPA+活性炭復(fù)合) 不銹鋼風(fēng)管電拋光(RA≤0.5μm)

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