杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-07-03
立即停止儀器運(yùn)行,檢查運(yùn)動(dòng)軸的機(jī)械結(jié)構(gòu),查看是否有異物卡住、部件變形或損壞等情況,清理異物或更換損壞的部件。
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