深圳市聯(lián)合多層線(xiàn)路板有限公司2025-07-10

真空鍍膜膜厚均勻性控制：旋轉(zhuǎn)工件架（轉(zhuǎn)速 5-10rpm）；調(diào)整蒸發(fā)源與工件距離（150-300mm）；使用擋板遮擋邊緣區(qū)域；優(yōu)化蒸發(fā)速率（0.1-1nm/s）。聯(lián)合多層膜厚偏差需≤±5%，通過(guò)晶振膜厚儀實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，每批次抽測(cè) 3 點(diǎn)（臺(tái)階儀測(cè)量），超過(guò)偏差需調(diào)整擋板角度或蒸發(fā)功率。

本回答由 深圳市聯(lián)合多層線(xiàn)路板有限公司 提供