皮拉尼真空計(jì),又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計(jì)”,屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。以下是對(duì)皮拉尼真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計(jì)由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門(mén)子和哈爾斯克公司工作,...
熱傳導(dǎo)真空計(jì):利用氣體在不同壓強(qiáng)下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測(cè)量氣體壓強(qiáng)。在這類真空計(jì)中,以一定加熱電流通過(guò)裝有熱絲的規(guī)頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強(qiáng)的函數(shù),故熱絲的溫度隨壓強(qiáng)而變化。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要用于100~10^-1帕范圍,采...
真空計(jì)用于測(cè)量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的真空計(jì)類型,常見(jiàn)的有:熱偶真空計(jì):適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計(jì):適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計(jì):適用于中真空...
陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。主要特點(diǎn)耐高溫:陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能:良好的電絕緣性...
辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開(kāi)發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì),已實(shí)現(xiàn)全系列部件國(guó)產(chǎn)化,產(chǎn)品測(cè)量精度接近MKS金屬電容真空計(jì)。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)FAB廠上機(jī)測(cè)試,填補(bǔ)了MKS對(duì)國(guó)內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金...
皮拉尼真空計(jì),又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計(jì)”,屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。以下是對(duì)皮拉尼真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計(jì)由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門(mén)子和哈爾斯克公司工作,...
真空計(jì)是用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,具有多種特點(diǎn),使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計(jì)的主要特點(diǎn):1. 寬量程適用:真空計(jì)可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計(jì)適用于不同的壓力范圍。2. 高精...
應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)真空系統(tǒng):用于監(jiān)測(cè)真空泵和真空腔室的壓力。實(shí)驗(yàn)室研究:用于各種真空實(shí)驗(yàn)。真空鍍膜:確保鍍膜過(guò)程在所需真空度下進(jìn)行。食品包裝:用于真空包裝機(jī)的壓力監(jiān)測(cè)。選型與使用量程選擇:根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護(hù):...
選擇適合的真空計(jì)對(duì)確保測(cè)量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。以下是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的關(guān)鍵因素:1. 測(cè)量范圍真空度需求:根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測(cè)量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計(jì)的量程覆蓋所需測(cè)量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選...
真空計(jì)用于測(cè)量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的真空計(jì)類型,常見(jiàn)的有:熱偶真空計(jì):適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計(jì):適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計(jì):適用于中真空...
真空測(cè)量是指用特定的儀器和裝置,對(duì)某一特定空間內(nèi)真空高低的測(cè)定,這種儀器或裝置稱為真空計(jì)(儀器、規(guī)管)。真空計(jì)的種類很多,通常按測(cè)量原理可分為***真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類:***真空計(jì):通過(guò)測(cè)定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。例如U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等...
真空計(jì)的主要特點(diǎn):1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器...
4. 電容式真空計(jì)電容式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量電容變化來(lái)間接測(cè)量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計(jì)原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來(lái)測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、響應(yīng)快。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用...
皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。根據(jù)測(cè)量方式的不同,皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中...
3. 電離真空計(jì)電離真空計(jì)通過(guò)電離氣體分子來(lái)測(cè)量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。(1)熱陰極電離真空計(jì)原理:利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,通過(guò)離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?1? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、測(cè)量范圍廣。缺點(diǎn):熱陰極易...
陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其**部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。主要特點(diǎn)耐高溫:陶瓷材料能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境。絕緣性能:良好的電絕緣性...
(1)利用氣體熱學(xué)特征類真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體分子在真空中的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)或動(dòng)力學(xué)效應(yīng)來(lái)推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí),熱絲的熱傳導(dǎo)性能會(huì)受到影響,進(jìn)而導(dǎo)致電阻發(fā)...
3. 電離真空計(jì)電離真空計(jì)通過(guò)電離氣體分子來(lái)測(cè)量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。(1)熱陰極電離真空計(jì)原理:利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子,通過(guò)離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?1? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、測(cè)量范圍廣。缺點(diǎn):熱陰極易...
4. 電容式真空計(jì)電容式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量電容變化來(lái)間接測(cè)量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計(jì)原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來(lái)測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、響應(yīng)快。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用...
皮拉尼真空計(jì),又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計(jì)”,屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。以下是對(duì)皮拉尼真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計(jì)由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門(mén)子和哈爾斯克公司工作,...
熱傳導(dǎo)真空計(jì):利用氣體在不同壓強(qiáng)下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測(cè)量氣體壓強(qiáng)。在這類真空計(jì)中,以一定加熱電流通過(guò)裝有熱絲的規(guī)頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強(qiáng)的函數(shù),故熱絲的溫度隨壓強(qiáng)而變化。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要用于100~10^-1帕范圍,采...
安裝步驟準(zhǔn)備工作:確保安裝區(qū)域清潔,準(zhǔn)備好所需工具和材料。安裝真空計(jì):將真空計(jì)對(duì)準(zhǔn)安裝位置,確保密封面平整。按說(shuō)明書(shū)安裝固定螺栓或夾具,均勻緊固。連接管路與電氣:連接真空管路,確保密封良好。按標(biāo)記重新連接電氣線路。檢查與測(cè)試:檢查所有連接是否牢固,密封是...
金屬薄膜真空計(jì)性能特點(diǎn)高靈敏度:金屬薄膜真空計(jì)通常具有較高的靈敏度,能夠準(zhǔn)確測(cè)量微小的壓力變化。寬測(cè)量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質(zhì)和厚度,但金屬薄膜真空計(jì)通常具有較寬的測(cè)量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環(huán)境。穩(wěn)定性好:在適當(dāng)?shù)木S護(hù)下,金屬薄膜真空...
4. 電容式真空計(jì)電容式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量電容變化來(lái)間接測(cè)量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計(jì)原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來(lái)測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、響應(yīng)快。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用...
真空計(jì)是一種用于測(cè)量氣體壓力的儀器,主要應(yīng)用于高真空環(huán)境中的設(shè)備和系統(tǒng)的研究、制造和測(cè)試。其工作原理是通過(guò)測(cè)量氣體在不同壓力下對(duì)傳感器的影響來(lái)進(jìn)行壓力測(cè)量。常見(jiàn)的真空計(jì)包括熱導(dǎo)式真空計(jì)、熱陰極離子化真空計(jì)和毛細(xì)壓力計(jì)等。熱導(dǎo)式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體傳熱的方式來(lái)...
皮拉尼真空計(jì)是一種基于熱傳導(dǎo)原理的真空測(cè)量?jī)x器,用于低真空到中真空范圍的測(cè)量。其工作原理是通過(guò)測(cè)量氣體分子對(duì)熱絲的熱傳導(dǎo)變化來(lái)確定壓力。工作原理皮拉尼真空計(jì)的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導(dǎo):金屬絲通電加熱,熱量通過(guò)氣體分子...
4. 電容式真空計(jì)電容式真空計(jì)通過(guò)測(cè)量電容變化來(lái)間接測(cè)量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計(jì)原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來(lái)測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高、響應(yīng)快。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用...
皮拉尼真空計(jì)利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理,通過(guò)測(cè)量一個(gè)發(fā)熱體與一個(gè)接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來(lái)判斷氣體的壓力。具體來(lái)說(shuō),當(dāng)加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時(shí),其溫度會(huì)升高。對(duì)于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過(guò)傳導(dǎo)和對(duì)流向周圍介質(zhì)(即氣體)散熱的速率。在真...
(1)真空計(jì)直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。***真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無(wú)關(guān),屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。(2)相對(duì)真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,不能通...
陶瓷真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件由陶瓷材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、絕緣性能好等優(yōu)點(diǎn)。選型與使用量程選擇:根據(jù)測(cè)量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、腐蝕性氣體等因素。安裝與維護(hù):正確安...