致晟光電熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)系列中的 RTTLIT P20 實(shí)時瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng),采用鎖相熱成像(Lock-inThermography)技術(shù),通過調(diào)制電信號提升特征分辨率與靈敏度,并結(jié)合軟件算法優(yōu)化信噪比,實(shí)現(xiàn)顯微成像下超高靈敏度的熱信號測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器,測溫靈敏度達(dá)0.1mK,顯微分辨率低至2μm,具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統(tǒng)重點(diǎn)應(yīng)用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴(yán)苛的場景,包括半導(dǎo)體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導(dǎo)體、LED及microLED等的失效分析,是電子集成電路與半導(dǎo)體器件失效分析及缺陷定位領(lǐng)域的關(guān)鍵工具。區(qū)分 LED、激光二極管的電致發(fā)光熱點(diǎn)與熱輻射異常,優(yōu)化光電轉(zhuǎn)換效率。紅外光譜熱紅外顯微鏡牌子
非制冷熱紅外顯微鏡基于微測輻射熱計(jì),無需低溫制冷裝置,具有功耗低、維護(hù)成本低等特點(diǎn),適合長時間動態(tài)監(jiān)測。其通過鎖相熱成像等技術(shù)優(yōu)化后,雖靈敏度(通常 0.01-0.1℃)和分辨率(普遍 5-20μm)略遜于制冷型,但性價比更高,。與制冷型對比,非制冷型無需制冷耗材,適合 PCB、PCBA 等常規(guī)電子元件失效分析;而制冷型(如 RTTLIT P20)靈敏度達(dá) 0.1mK、分辨率低至 2μm,價格高,多用于半導(dǎo)體晶圓等檢測。非制冷熱紅外顯微鏡在中低端工業(yè)檢測領(lǐng)域應(yīng)用較多。非制冷熱紅外顯微鏡原理熱紅外顯微鏡結(jié)合多模態(tài)檢測(THERMAL/EMMI/OBIRCH),實(shí)現(xiàn)熱 - 電信號協(xié)同分析定位復(fù)合缺陷。
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI) 圖像分析是通過探測物體自身發(fā)出的紅外輻射,將其轉(zhuǎn)化為可視化圖像,進(jìn)而分析物體表面溫度分布等信息的技術(shù)。其原理是溫度高于零度的物體都會向外發(fā)射紅外光,熱紅外顯微鏡通過吸收這些紅外光,利用光電轉(zhuǎn)換將其變?yōu)闇囟葓D像。物體內(nèi)電荷擾動會產(chǎn)生遠(yuǎn)場輻射和近場輻射,近場輻射以倏逝波形式存在,強(qiáng)度隨遠(yuǎn)離物體表面急劇衰退,通過掃描探針技術(shù)可散射近場倏逝波,從而獲取物體近場信息,實(shí)現(xiàn)超分辨紅外成像。
熱點(diǎn)區(qū)域?qū)?yīng)高溫部位,可能是發(fā)熱源或故障點(diǎn);等溫線連接溫度相同點(diǎn),能直觀呈現(xiàn)溫度梯度與熱量傳導(dǎo)規(guī)律。目前市面上多數(shù)設(shè)備受紅外波長及探測器性能限制,普遍存在熱點(diǎn)分散、噪點(diǎn)多的問題,導(dǎo)致發(fā)熱區(qū)域定位不準(zhǔn),圖像對比度和清晰度下降,影響溫度分布判斷的準(zhǔn)確性。
而我方設(shè)備優(yōu)勢是設(shè)備抗干擾能力強(qiáng),可有效減少外界環(huán)境及內(nèi)部器件噪聲影響,保障圖像穩(wěn)定可靠;等溫線明顯,能清晰展現(xiàn)溫度相同區(qū)域,便于快速掌握溫度梯度與熱傳導(dǎo)情況,提升熱特性分析精度;成像效果大幅提升,具備更高的空間分辨率、溫度分辨率及對比度,可清晰呈現(xiàn)細(xì)微細(xì)節(jié),為分析提供高質(zhì)量的圖像支持。 熱紅外顯微鏡幫助工程師分析電子設(shè)備過熱的根本原因 。
車規(guī)級芯片作為汽車電子系統(tǒng)的重心,其可靠性直接關(guān)系到汽車的安全運(yùn)行,失效分析是對提升芯片質(zhì)量、保障行車安全意義重大。在車規(guī)級芯片失效分析中,熱紅外顯微鏡發(fā)揮著關(guān)鍵作用。芯片失效常伴隨異常發(fā)熱,通過熱紅外顯微鏡分析其溫度分布,能定位失效相關(guān)的熱點(diǎn)區(qū)域。比如,芯片內(nèi)部電路短路、元器件老化等故障,會導(dǎo)致局部溫度驟升形成明顯熱點(diǎn)。從而快速定位潛在的故障點(diǎn),為功率模塊的失效分析提供了強(qiáng)有力的工具?梢愿玫膸椭嚻髢(yōu)化芯片良率與安全性。熱紅外顯微鏡可實(shí)時監(jiān)測電子設(shè)備運(yùn)行中的熱變化,預(yù)防過熱故障 。IC熱紅外顯微鏡方案
快速鎖定 PCB 板上因線路搭接、元件損壞導(dǎo)致的熱點(diǎn),尤其是隱藏在多層板內(nèi)部的短路點(diǎn)。紅外光譜熱紅外顯微鏡牌子
熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)的突出優(yōu)勢二:
與傳統(tǒng)接觸式檢測方法相比,熱紅外顯微鏡的非接觸式檢測優(yōu)勢更勝一一無需與被測設(shè)備直接物理接觸,從根本上規(guī)避了傳統(tǒng)檢測中因探針壓力、靜電放電等因素對設(shè)備造成的損傷風(fēng)險,這對精密電子元件與高精度設(shè)備的檢測尤為關(guān)鍵。在接觸式檢測場景中,探針接觸產(chǎn)生的機(jī)械應(yīng)力可能導(dǎo)致芯片焊點(diǎn)形變或線路微損傷,而靜電放電(ESD)更可能直接擊穿敏感半導(dǎo)體器件。
相比之下,熱紅外顯微鏡通過捕捉設(shè)備運(yùn)行時的熱輻射信號實(shí)現(xiàn)非侵入式檢測,不僅能在設(shè)備正常工作狀態(tài)下獲取實(shí)時數(shù)據(jù),更避免了因接觸干擾導(dǎo)致的檢測誤差,大幅提升了檢測過程的安全性與結(jié)果可靠性。這種非接觸式技術(shù)突破,為電子設(shè)備的故障診斷與性能評估提供了更優(yōu)解。 紅外光譜熱紅外顯微鏡牌子
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